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电路超声波振荡，传输到压电陶瓷振子表面，压电陶瓷振子会产生轴向机械共振变化，这种机械共振变化再传输到与其接触的液体，使液体表面产生隆起，并在隆起的周围发生空化作用，由这种空化作用产生的冲击波将以振子的振动频率不断反复，使液体表面产生有限振幅的表面张力波。这种张力波的波头飞散，使液体雾化，同时产生大量的负离子。
压电陶瓷主要由锆钛酸铅(PZT)所组成, 在氧化锆(ZrO2)、氧化铅 (PbO)及氧化钛(TiO2)等的粉末原料中，按一定比例适当添加微量的添加物后，由多道加工程序完成陶瓷粉料制作，再利用油压机使之压缩成各种规格形状，成型后在1350 ℃ 左右温度下进行烧结，所得的成品，再以电镀的方法或者不锈钢贴片法完成电极极化工作后，就是压电陶瓷晶片成品。
由于其单独成型的压电陶瓷振荡频率是固有的，因此，只能产生一个震荡冲击波。如果需要增加雾化量，只可采用多组并联同时工作的方法来实现。以现有技术考虑压电陶瓷寿命，每一单元振子功率为0.25W，雾化量为0.3L。由于液体溶液表面张力不同，各种液体的雾化量也不完全相同，相对液体表面张力越大，雾化量越小，反之则越大。
液体内所含杂质不同，对设备的使用寿命、雾化效果、保养周期都有一定的影响，以水为例，当水中钙、镁、矽酸含量高时，各种加湿方法在一定程度上都会受到影响，影响加湿效率，甚至会造成设备损坏，再超声波加湿中，水中钙、镁、矽酸含量高时，会造成雾化器本身结垢、加湿环境受到污染等等负面影响。
高压微雾喷雾系统使得超微小的雾滴达到5-10微米，因此极大地提高了蒸发效率，因此水的蒸发量大大提高，在水的汽化过程中吸收热量，降低温度、提高空气相对湿度。由于空气的湿度增加，因此将大大减少空气中的有害粉尘，达到净化空气的作用。在使用过程中无水滴现象、雾化细、射程运，如果配合大流量轴流风机使用，增加室内的排风量，提高空气流动速度，可进一步提高使用效果
一般喷雾装置有两种类型：一种是高压雾喷器，另一种是低压两相流雾喷器。公交广场上的座椅下和高架步道上安装的是高压雾喷器，雾滴直径不到16微米，每个喷嘴的雾化半径约为1.5米至2米；广场遮阳棚的立杆上，固定安装了大量的低压两相流的雾喷器，雾滴直径在24至60微米，每个喷嘴的雾化半径可以达到3米左右，雾喷嘴头安装高度为离地1.5米至2米处，正好与人体高度吻合。
雾化喷嘴采用特种塑料，高精密制造生产，喷出雾滴细微：10-30 微米，喷射角度：80-- 5，出水量：2.4--7升/小时，系统供水压力：3-14公斤，每个喷嘴喷雾覆盖面积3~5平方米，降温能力：5~10℃。喷嘴抗老化、耐寒、耐晒、耐酸碱、不长苔、不易堵塞,并且清洗方便使用寿命长。